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第430章(第2页)

光刻机在沪江时测试过的,怎么到了粤州就水土不服?

“给我看看!”

一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来。

周博来到显微镜前,将芯片放在物境前固定好,看了起来。

镜头中,本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹,模糊成团。

这就是所谓图案粘连。

看完之后,周博没有说话,走到了光刻机的操作台前。

暗暗在脑海中发出指令。

“分析GK-1光刻机···”

【叮!】

【系统分析开始···】

【光刻机型号:GK-1】

【分析结果如下:】

【1。光源系统正常。

2。对准与调焦系统正常。

3。双工件台系统正常

4。掩模输运与定位系统正常···】

系统分析完毕,光刻机一切正常。

周博叹了一口气,心中也犯了难,问题出在什么地方呢?

系统也不是万能的,现在要靠自己定位问题了。

“大家有什么看法!”周博先询问众人的意见。

姜明尚道:“每次都出现图案粘连,我还是怀疑光刻胶有问题。

但是又查不出来!”

周博点点头。

现在他们所用的光刻胶,是从鸡蛋清里提取出来的,调配过程是周博经过多次实验确定下来的。

一年多来,在电子厂车间产线上使用,从来没出过问题。

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