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第一集 坏料炸响 2018 危机(第1页)

2018年9月12日,干州章贡区的秋老虎带着南方特有的黏腻闷热,像一层密不透风的薄膜裹着整座城市。芯途科技产业园里,唯有光刻车间的恒温系统在嗡嗡作响——23℃的恒定温度、45%的湿度,是14nm光刻胶测试的“黄金环境”。江瑶站在车间中央的观测台旁,白大褂袖口挽到小臂,露出腕上那块磨损严重的机械表,表盘里的指针正指向上午9点17分,距离麒麟全球约定的样品交付日,还有整整7天。

车间里的空气比往常更沉。ASMLXT1950i型28nm光刻机占据了半个车间,银灰色的机身泛着冷光。这台设备是芯途在去年中美关系尚可时,历经层层审查才购入的,而如今,随着4月中兴通讯被美国商务部签发长达七年的出口禁令,以及8月美国《国防授权法案》明确限制使用中国通信设备,整个行业都弥漫着一种山雨欲来的紧张感。江瑶的目光死死锁在监测屏上:曲线平稳地跳动在“合格阈值”内,光刻胶的感光度、分辨率、抗蚀性三项核心指标,前三天的测试数据都稳定在91%以上——这意味着,只要最后一轮全流程测试通过,芯途就能成为国内第三家掌握14nm光刻胶量产技术的企业,更能帮麒麟全球解“燃眉之急”。

办公桌上的黑色文件夹里,麒麟全球的订单合同压在最上面。江瑶前晚重新核对过条款:首批500公斤样品,每公斤单价1。2万元,逾期交付需按日支付合同总额1%的违约金,累计不超过1000万元。1000万,对2018年的芯途来说不是小数目——当时公司刚完成B轮融资,大部分资金都投在了EUV光刻机的预付款上,但谁都清楚,自从2017年莱迪思半导体收购案被叫停、德国爱思强收购因美国干预受阻后,中国公司想获取最先进半导体设备的路径正被一条条堵死。若这笔订单违约,不仅会失去麒麟全球这个核心客户,后续的融资进程也可能停滞。

“江工,第12片晶圆的涂胶完成,准备进入曝光环节。”年轻工程师小李的声音从操作台传来,带着一丝难掩的兴奋。他刚从清华大学材料系毕业,这是他参与的第一个重大项目,眼镜片后的眼睛里满是期待。江瑶点点头,走到操作台旁,指尖轻轻拂过晶圆边缘——硅片上涂覆的光刻胶呈淡蓝色,像一层薄冰,这是她带领团队调试了187天的成果,从树脂单体的选型到光敏剂的配比,每一步都浸着心血。

就在这时,刺耳的三级故障警报突然撕裂车间的安静。“嘀——嘀——嘀——”红色的警示灯在光刻机顶部疯狂闪烁,原本平稳运行的晶圆传送臂猛地停在轨道中央,机械关节发出“咔嗒”一声闷响。江瑶的心脏瞬间提到了嗓子眼,她快步冲到主控屏前,屏幕上跳出一行白色大字:“磁控管电流异常,设备紧急停机”。

“张工,等等!先别拆!”江瑶一把按住正要拿起银色内六角扳手的老工程师,语气沉稳却带着不容置疑的主导力,“这台设备的磁控管模块带380V高压,而且刚才我隐约看到线圈附近有不明粉末,万一含放射性杂质,贸然拆外壳会破坏故障现场——先把主控日志导出来,调出故障前5分钟的电压、电流、腔体温度曲线,按设备手册的‘故障溯源规程’留痕后再处置。”她指尖迅速点向主控屏角落的“日志导出”图标,补充道:“我们得先明确是参数漂移导致的故障,还是硬件本身有问题,后续还要查杂质来源,不能断了线索。”张工愣了一下,随即反应过来,放下扳手快步凑到主控台:“您说得对,是我急了,光顾着修却忘了溯源优先。”两人配合着导出日志,屏幕上很快显现异常曲线:故障前30秒,磁控管电流从2。5A骤升至4。8A,电压同步下降30%,典型的“导电杂质短路”特征。

日志备份完成、设备断电后,团队才按规程拆开磁控管的不锈钢外壳。一股淡淡的臭氧味飘了出来,张工从工具箱里拿出便携式放大镜,焦距调到40倍,对准磁控管内部的线圈。“江工,你来看。”他的声音有些发颤。江瑶凑过去,瞳孔骤然收缩:线圈表面有几处明显的焦痕,原本均匀的铜丝绕组出现了局部熔断,更严重的是,线圈附近的绝缘层上,还附着一层淡褐色的粉末。

“取样本,立刻送检测室做X射线荧光光谱分析!”江瑶当机立断。小李拿着镊子,小心翼翼地刮下一点褐色粉末和少量线圈金属碎屑,装进密封的样品袋里,一路小跑冲向检测室。车间里没人说话,只有空调的风声在耳边打转,每个人的脸上都写着焦虑——磁控管是光刻机的“心脏”,一旦损坏,不仅测试要停,更换新磁控管至少需要20天,根本赶不上麒麟全球的订单。而且,一想到美国在7月已对包括半导体设备及配件在内的大批中国商品加征关税,后续维修或更换零部件的成本和不确定性都将大增,一股寒意不禁从江瑶心底升起。

20分钟后,小李拿着检测报告跑了回来,报告纸被他攥得皱巴巴的。“江工,结果出来了!”他的声音带着哭腔,“镝材纯度只有99。94%,还检测出0。003%的钍杂质——张工说,要不是处置果断会击穿磁控管的线圈!”江瑶接过报告,指尖发凉——她比谁都清楚,对于28nm及更先进制程的光刻机,磁控管核心镝材的纯度要求通常都在4N5(99。995%)乃至5N(99。999%)以上,99。94%比最低标准还低0。005%,这意味着电子发射效率会下降10%,光刻线宽误差直接突破0。5nm的合格上限;而钍(Th-232)的α粒子会加速绝缘层老化,短期可能导致线圈击穿,长期还会污染整个光刻腔室,后续清理至少需要3个月。

“料是从哪来的?”江瑶的声音带着一丝不易察觉的颤抖。采购部经理王磊匆匆跑了过来,额头上的汗珠顺着脸颊往下淌,他手里攥着一份皱巴巴的供货合同。

“江工,是‘蓝星商贸’送的货,前天刚到的。”王磊的声音有些结巴,“他们说有中华稀土的‘内部授权’,还出示了盖红章的文件,说最近环保查得严,大厂产能紧,走‘特殊渠道’才能隔天到货。我想着咱们急着用,就……就报给您批了紧急采购。”

“内部授权?文件呢?”江瑶伸手要。王磊赶紧从公文包里掏出一张A4纸,纸上印着“中华稀土内部供应授权书”的字样,红章的边缘模糊不清,没有唯一合同编号,也没有授权有效期。江瑶的眉头拧得更紧了——她之前跟中华稀土合作过多次,正规的授权书会标注“华稀授字+年份+编号”,还会附上对应的提货单编号;她立刻掏出手机,登录中华稀土官方供应商查询系统,输入“蓝星商贸”的全称和统一社会信用代码,屏幕上很快跳出“未找到该企业备案信息”的提示,这让她心里一沉——连官方备案都没有的“供应商”,根本不可能拿到中华稀土的“内部授权”。

“他们的报价比市场价低10%,对吧?”江瑶突然想起三天前王磊跟她汇报时的细节。王磊点点头,声音更低了:“市场价99。99%的镝材是1200元公斤,蓝星报1080元公斤,而且说当天付款隔天就能到货。”

江瑶闭上眼,深吸了一口气。她终于明白,这根本不是什么“特殊渠道”,而是一个精心设计的陷阱。这个陷阱,恰好利用了在美国一系列制裁、限制下,中国芯片产业链急于寻找安全可控替代方案而产生的焦虑和薄弱环节。20年的稀土行业,正处在一场剧烈的震荡中——当年5月,生态环境部启动了重稀土矿环保专项核查,干州的东文稀土、大章钨业等主力矿企,因为排污不达标,从7月开始陆续停产,重稀土开采配额骤减40%,市场上的高纯度镝材一下子变得紧俏。

更糟的是,8月底,缅甸克钦邦爆发冲突,中缅边境的木姐口岸——国内企业进口缅甸镝矿的主要通道,被迫关闭。芯途之前的镝材供应商,就是通过木姐口岸进口缅甸矿,再在国内提纯,现在口岸一关,供应商那边也断了货,说“至少要等15天才能恢复供应”。而芯途当时的镝材库存,只剩下不到20公斤,只够支撑3天的测试,所以当王磊提出蓝星商贸能“隔天到货”时,她满脑子都是测试进度,没多想就批了。

“江工,那现在怎么办?麒麟全球那边刚才还打电话来问进度……”小李怯生生地问。江瑶睁开眼,目光扫过车间里的设备——从涂胶机到显影机,每一台都在等着光刻环节的信号;再看技术组的成员,他们都在等着她拿主意。

“苏然呢?”江瑶突然想起什么,猛地摸出手机。苏然原是芯途的芯片材料工程师,主攻稀土材料的纯度检测。三天前的晚上,他们还在干州的宋城城墙下散步,苏然手里拿着一块从内蒙古稀都市带回来的镝矿原石,说等测试成功,就把这块原石打磨成戒指送给她。

江瑶点开手机通讯录,找到“苏然”的名字,手指按下通话键。听筒里传来的,却是冰冷的电子提示音:“您所拨打的电话已关机,请稍后再拨。”她又试了一次,还是一样的结果。办公桌上,那盒苏然昨天送来的中秋月饼还没拆,包装盒上印着“团圆”两个烫金大字,此刻却像一根刺,扎得她眼睛生疼。

“江工,要不……咱们再联系其他供应商试试?”王磊小声提议。江瑶摇摇头,她心里清楚,2018年9月的国内市场,能立刻供应99。99%镝材的供应商屈指可数,而且就算有,交货期也至少要10天,根本赶不上7天的截止时间。

车间外的树荫下,一个穿着黑色夹克、戴墨镜的男人收起了手中的长焦相机。他从口袋里掏出一部黑色的卫星电话,给一个备注为“AP亚太区-汉森”的联系人发了一行字:“芯途停摆,第一步达成。坏料已触发磁控管故障,测试中断。”发送成功后,他删掉信息。他想起汉森的指令:AP本身就是全球顶尖的半导体设备核心配件供应商,其磁控管、光刻胶树脂等产品在高端市场的份额超60%,这次用坏料打击芯途,不只是为了拖延中国14nm光刻胶的突破进度,更想借此制造“中国企业无法稳定获取合格核心材料”的负面印象,进一步巩固自身在高端配件市场的垄断地位,维持高昂的定价权——这与美国通过技术封锁压制中国高科技产业的战略完全同步。

江瑶攥着检测报告,指节因用力而泛白。她走到窗边,看着外面的阳光——干州的秋天很少有这样刺眼的阳光,照在车间的玻璃上,反射出一片惨白。江瑶意识到,蓝星商贸背后,一定有更大的势力在操控,而苏然的突然失联,恐怕也不是巧合。联想到美国正试图通过关税、投资限制、市场准入等多重手段系统性压制中国高科技产业,她突然明白,这场看似偶然的“材料故障”,根本不是意外,而是一场瞄准中国芯片产业的精准打击。

“张工,你带两个人按规程清理磁控管,尽量完整保留杂质样本和故障部件,后续送国家半导体器件质量监督检验中心做深度溯源分析,要明确杂质的来源和掺入方式。”江瑶的声音重新变得坚定,她转过身,看着技术组的成员,“小李,整理近三天的测试数据,重点标注涂胶、曝光、显影环节的参数,我们看看能不能通过调整工艺,降低对镝材纯度的要求。王经理,你立刻联系市场监管部门,核实蓝星商贸的资质,另外,再去查一下这批镝材的物流信息,从哪里发货,经过了哪些环节。”

每个人都行动起来,车间里又恢复了忙碌,但气氛和之前不同——之前的忙碌里带着期待,现在的忙碌里多了一份沉重的使命感。江瑶走到操作台旁,拿起那块苏然送的镝矿原石,石头的表面还很粗糙,带着矿山的泥土气息。她想起苏然说过的话:“稀土是工业的维生素,更是国家的命脉,我们得守好它。”

是啊,得守好它。江瑶握紧了手里的原石,心里默默想:不管蓝星商贸背后是谁,不管苏然现在在哪里,她都要在7天内找到合格的高纯镝材,完成测试,不能让AP的阴谋得逞。这场围绕“好料”与“坏料”的较量,也是在中国芯片产业面临前所未有的外部压力下,为生存和发展而进行的抗争,才刚刚开始,她不能输,芯途不能输,中国的芯片产业更不能输。

办公桌上的手机突然震动了一下,是一条陌生号码发来的短信:“蓝星商贸的背后,是AP。小心。”江瑶看着短信,心跳猛地加速——发信人是谁?为什么会知道这些?她想回复,却发现对方已经拉黑了她的号码

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